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全自动晶圆贴膜机 MF-ATL300II
此设备用于在晶圆正面贴膜作为晶圆在研磨减薄过程中的保护膜。
产品详情
应用：
此设备用于在晶圆正面贴膜作为晶圆在研磨减薄过程中的保护膜
技术：
应用尺寸：8” & 12”
厚度：＞400um
设备产能： 60 片/小时 12” 70 片/小时 8”
上下料： Open Cassette, Foup/FOSB
贴膜方式：滚轮贴膜
适用膜种类：常规膜/UV膜
治具更换：手动，＜10分钟
设备内部CCTV监控
EFU过滤单元
支持SECS/GEM
设备尺寸：1800mm*1912mm*2137mm （长*宽*高）
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电话：021-64307580
办公地址：上海市金山区春丽路1239号国际中小企业产业园（二期）3号楼
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