应用

　　先进封装wafer，panel等产品使用，可以配合OHT系统

　　技术

　　• 应用8-12 inch，thickness 500~800 um产品，Warpage<±4 mm="">

　　• 温度 Max 400℃，均匀度±3℃

　　• 25 pcs / Cassette，Total 4 Cassette

　　• EFEM UNIT：Load Port 4 set / Robot / Align / Buffer area / Cooling area

　　• 氧含量监控报警提示，配备氧含量分析仪

　　• 支持SECS/GEM